产品中心

白光干涉检测系统

详细分类
型号:CR-100V

  ■产品简介CR-100V白光干涉检测系统(白光干涉仪)可以非接触检测表面微结构形貌,以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高,不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业,例如:光电子材料与器件、材料科学表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光学测量、光学加工、精密机械加工,高等学校光学技术及物理光学实验等。■产品特点1、非接触检测2、新型白光干涉物镜,工作距离可达17.7mm3、可测试最低反射率0.5%的样品4、高分辨率彩色CCD系统5、白光干涉软件操作简洁,全中文界面,很容易掌握操作。■技术规格一、白光干涉仪参数1、光学设计:无限远相移白光干涉系统2、观察方式:连接电脑,视频显示3、光学参数放大倍数光学系统数值孔径N.A测量范围光学分辨率工作距离5X(选购)无限远白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X无限远白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作台:圆盘360°旋转,直径150mm,带倾斜调整功能,X轴行程:76mm,Y轴行程:50mm5、调焦:行程50mm,手动粗微调,微调格值0.002mm6、光源:LED白光光源,亮度手动可调,使用寿命不低于10000小时。中心波长:580nm7、、电源:AC100--240V50-60Hz8、仪器重量:20kg二、图像显示:图像传感器:1/2.5"彩色300万CMOS;分辨率:2048x1536;像素点尺寸:2.2μmx2.2um;帧率:8fps全分辨率;数据接口:USB3.0.三、自动图像采集测量系统1、纳米驱动器:最大位移:80um;分辨率:5nm闭环控制;重复定位精度:0.1nm;线性度:0.2nm%F.S.2、自动图像采集:软件是图像采集以及纳米定位功能集成化控制的软件,可以根据设定,驱动纳米驱动器做纳米级定位控制,同时对不同位置的干涉条纹进行采集;同时可设定图像的曝光,像素,增益等参数。定位控制有开环闭环工能可供选择。3、白光干涉分析软件:基于Matlab使用,操作简单,可以检测台阶类样品的台阶高度,台阶最大高度不大于70um;可以检测到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被检测样品的任何位置的横切或者纵切面轮廓。检测结果可以直接生成报告。直接可以测量的数据有,被选取位置的横向以及纵向的粗糙度XRa,YRa;Sa,RMS,PV,以及视场区域内最大和最小的数据。四、联想品牌计算机:Win764位操作系统/I7四核CPU/8G内存/独立显卡/23寸显示器■仪器成套性1、白光干涉仪一台2、白光干涉物镜10X一只3、多功能工作台一套4、专用数据采集系统一套5、PZT控制器及自动采集系统一套6、白光干涉测量软件一套5、联想品牌计算机一套6、产品合格证、保修卡及使用说明书一份

……………

价格:32.8万
- 了解更多 -

白光干涉检测系统CR-100V

型号:CR-100

  ■产品简介CR-100V白光干涉检测系统(白光干涉仪)可以非接触检测表面微结构形貌,以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高,不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业,例如:光电子材料与器件、材料科学表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光学测量、光学加工、精密机械加工,高等学校光学技术及物理光学实验等。■产品特点1.非接触检测2.新型白光干涉物镜,工作距离可达17.7mm3.可测试最低反射率0.5%的样品4.高分辨率彩色CCD系统■技术规格1、光学设计:无限远相移白光干涉系统2、观察方式:连接电脑,视频显示3、光学参数放大倍数光学系统数值孔径N.A测量范围光学分辨率工作距离5X(选购)无限远白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X无限远白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作台:圆盘360°旋转,直径150mm,带倾斜调整功能方形工作台,X轴行程:76mm,Y轴行程:50mm5、调焦:行程50mm,手动粗微调,微调格值0.002mm6、图像采集:图像传感器:1/2.5"彩色300万CMOS;分辨率:2048x1536;像素点尺寸:2.2μmx2.2um;帧率:8fps全分辨率;数据接口:USB3.0.7、光源:LED白光光源,亮度手动可调,使用寿命不低于10000小时。中心波长:580nm8、电源:AC100--240V50-60Hz9、仪器重量:20kg■仪器成套性1、白光干涉仪一台2、白光干涉物镜10X一只3、方、园工作台一套4、专用数据采集系统一套5、产品合格证、保修卡及使用说明书一份

……………

价格:18.9万
- 了解更多 -

白光干涉仪CR-100

百度统计: